رقاقة السيليكون الفوقي

بند

وEMSP.

تخصيص

المادة المتفاعلة

سوب المواصفات لا.

وEMSP.

نمو سبيكة  طريقة

تشيكوسلوفاكيا

التوصيل  اكتب

ن

إشابة

مثل

اتجاه

(100) ± 0.5 درجة

المقاومية

≤ 0.005ohm.cm

RRG

≤ 15٪

[أوي] المحتوى

8 ~ 18 بما

قطر الدائرة

150 ± 0.2 مم

الابتدائية شقة  الطول

55 ~ 60 مم

الابتدائية شقة  موقعك

{110} ± 1 °

ثانيا شقة  الطول

نصف

ثانيا شقة  موقعك

نصف

سماكة

625 ± 15 أم

مساعدات  مميزات:

وEMSP.

1 ، BSD / بولي الاشتراكية (أ)

1.bsd

2 ، sio2

2.lto: 5000 ± 500 أ

3 ، استبعاد الحافة

3.ee:؟0.6 مم

الليزر وسم

لا شيء

السطح الأمامي

مرآة مصقول

برنامج التحصين الموسع

بناء

ن / ن +

إشابة

فوس

سماكة

3 ± 0.2 أم

thk.uniformity

≤ 5٪

قياس  موضع

سينتر (1 بت)  10mm من الحافة (4 نقاط في 90 درجة)

عملية حسابية

[TMAX-tmin] ÷ [[TMAX + tmin] س  100٪

المقاومية

2.5 ± 0.2 أوم. سم

res.uniformity

≤ 5٪

قياس  موضع

سينتر (1 بت)  10mm من الحافة (4 نقاط في 90 درجة)

عملية حسابية

[rmax-RMIN] ÷ [[rmax + RMIN] س  100٪

كومة خطأ  كثافة

≤ 2 ( عصام / CM2 )

ضباب

لا شيء

الخدوش

لا شيء

الحفر ، قشر البرتقال ،

لا شيء

حافة تاج

≤ 1/3 سمك إيبي

زلة (مم)

الطول الاجمالي ≤ 1dia

المواد الغريبة

لا شيء

السطح الخلفي  تلوث اشعاعى

لا شيء

مجموع نقطة  العيوب (الجسيمات)

≤ 30@0.3um