المسافة الخطية عبر سطح شريحة دائرية تحتوي على مركز الشريحة وتستثني أي شقق أو غيرها من المناطق الائتمانية المحيطية. أقطار رقاقة السيليكون القياسية هي: 25.4mm (1 \") ، 50.4mm (2\") ، 76.2mm (3 \") ، 100mm (4\") ، 125mm (5 \") ، 150mm (6\") ، 200mm (8 \") و 300 mm (12 \"). البعد الخطي عبر سطح الرقاقة. يتم إجراء القياس يدويًا باستخدام الفرجار الرقمي المعتمد في كل رقاقة فردي.
(تعتمد السماكة على قطر الرقاقة ، ولكنها عادة ما تكون أقل من 1 مم) ، والشريحة الدائرية لمواد أشباه الموصلات أحادية البلورة مقطوعة من سبيكة أشباه الموصلات البلورية المفردة ؛ تستخدم في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة ؛ قد تتراوح أقطار الرقائق من 5 مم إلى 300 مم. يقاس مع أدوات عدم الاتصال Certied في مركز كل رقاقة الفردية.
البعد الخطي من at يقاس مع ansi certied الرقمية الفرجار على عينة من رقاقة واحدة لكل سبيكة.
يدل على اتجاه سطح رقاقة الرقاقة فيما يتعلق بمستوى البلورات داخل البنية الشبكية. في الرقاقات التي تقطع عن قصد \"خارج الاتجاه\" ، يكون اتجاه القطع متوازيًا مع الاتجاه الأولي ، بعيدًا عن الاتجاه الثانوي. يتم قياسه باستخدام مقياس goniometer بالأشعة السينية على عينة من رقاقة واحدة لكل سبيكة في وسط الرقاقة.
في رقائق قطع عمدا \"قبالة الاتجاه\" ، والزاوية بين الإسقاط من ناقلات طبيعية إلى رقائق سطح إلى مستوى {0001} والإسقاط على هذا المستوى من أقرب \u0026 lt؛ 11-20 \u0026 gt؛ اتجاه.
مسطح أطول طولًا على الرقاقة ، موجهًا بحيث يكون التوازي متوازيًا مع مستوى معين من مستوى بلور منخفض ؛ شقة رئيسية. at الأساسي هو الطائرة {10-10} مع وجه parallelat الموازي لـ \u0026 lt؛ 11-20 \u0026 gt؛ اتجاه.
at لأطول طول على الرقاقة ، موجهًا بحيث يكون التوازي متوازيًا مع مستوى بلوري معين منخفض المستوى. يتم قياسها على رقاقة واحدة لكل سبيكة باستخدام تقنية laue back-retection مع قياس زاوية يدوي.
at من طول أقصر من primaryat الأولية التوجه ، الذي يحدد موقفه فيما يتعلق التوجه الأولي ofat وجه رقاقة.