العيوب التي تظهر شكلا واضحا للعين دون مساعدة و & GT. 50 ميكرون. وتشمل هذه الميزات المسامير والجزيئات الملتصقة ورقائق وفوهات. عيوب نقطة كبيرة أقل من 3 ملم بصرف النظر عن عيب واحد.
تكون الأخاديد أو القطع أسفل المستوي السطحي للرقاقة ذات نسبة طول إلى عرض أكبر من 5 إلى 1. خدوش محددة بواسطة عدد الخدوش المنفصلة التي يصل طولها إلى إجمالي طول القطر.
يمكن أن يكون تجميع الخطوات مرئياً كنمط من الخطوط المتوازية التي تعمل عمودياً على الخط الرئيسي. إذا كان موجودًا ، قم بتقييم النسبة المئوية للمنطقة المحددة المتأثرة.
تحقق من خلال فحص لون موحد إلى المؤخر الرقاقة. لاحظ أن هناك منطقة أغمق بالقرب من مركز بعض الرقاقات المخدّرة الأعلى. النظافة المؤكدة محددة كنسبة مئوية من المساحة النظيفة.
المناطق التي تمت فيها إزالة المواد عن غير قصد من الرقاقة. لا تخلط بين الكسور في تاج epi ورقاقات الحافة.
المناطق التي توقفت فيها خطوة-خطوة خلال نمو طبقة epi. عادةً ما تكون المناطق النموذجية مثلثية على الرغم من أن الأشكال الأكثر دائرية تظهر أحيانًا. العد مرة واحدة في كل مرة. اثنين من الادراج ضمن 200 ميكرون واحد.
معلومات الاتصال
luna@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com 
+86-592-5601 404
