يتم تقديم محول نظام الطاقة الكهرومغناطيسية rf (mms) مزدوج التشغيل مع عزل عالي وتشغيل منخفض الجهد لتطبيقات الترددات اللاسلكية والموجات الدقيقة. تم تخفيض جهد التشغيل الخاص بهيكل التبديل العمودي rf mems المقترح المزدوج دون تقليل التشغيل الفارق . نظريًا ، يكون جهد التشغيل في البنية المقترحة أقل بنسبة 29٪ تقريبًا من ذلك في مفتاح rf mems أحادي المحرك ، بنفس طريقة التصنيع ومنطقة القطب وفجوة اتصال متساوية.

تم تصميم مفتاح rf mems المقترح من قبل micromachining السطح مع سبعة أقنعة الصورة على رقاقة الكوارتز. ولتحقيق الاستقطاب وبنية شبيهة الدرج ، كانت طبقة الأضداد البوليميدية مغلفة بالجلد وشفيها وحفرت في خطوتين وتم رسمها بخطوة الحفر الجاف التي تحدد آلية التشغيل المزدوج. أظهرت النتائج المقاسة لمفتاح Rf mems المصنَّع أن خسارة الإدراج كانت أقل من 0.11 ديسيبل للحالة 20 فولت على الحالة ، وكانت العزلة أعلى من 39.1 ديسيبل للحالة الخارجية ، وكانت خسارة العودة أفضل من 32.1 ديسيبل للموجة 20 فولت على حالة من العاصمة إلى 6 غيغاهرتز. كان الحد الأدنى لسحب الجهد الكهربائي لمفتاح Rf ملفوف 10 v.

مصدر: iopscience

لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة الموقع موقعنا على الانترنت:www.semiconductorwafers.net ،

أرسل لنا البريد الإلكتروني علىangel.ye@powerwaywafer.com أوpowerwaymaterial@gmail.com