يقترح هذا الورقة ثلاثية الأبعاد الجديدة (3D) الليثوغرافيا الضوئية التكنولوجيا لعملية micropatterning عالية الدقة على ركيزة الألياف. كما تم تقديم استعراض موجز لتكنولوجيا الطباعة الحجرية للسطح غير المستوي. تشتمل التقنية المقترحة بشكل أساسي على التصنيع الدقيق لوحدة التعرض ثلاثية الأبعاد وترسيب الأفلام الرقيقة المقاومة على الألياف. يتم إعداد وحدة التعرض 3D بنجاح من خلال النقش الرطب لركيزة الكوارتز وطريقة التعرض الإسقاط.

المزايا الرئيسية لوحدة التعرض ثلاثية الأبعاد هي عمر الخدمة الطويل ، والتكلفة المنخفضة ، وفجوة الطباعة الضيقة وبالتالي عالية الدقة. تم تطوير نظام طلاء الرذاذ الجديد من أجل إعداد أفلام مقاومة موحدة ورفيعة على الألياف ، والتي تعتبر ضرورية لعملية معالجة دقيقة عالية الدقة. تم فحص عملية ترسيب الرذاذ على الألياف البصرية بقطر 125 ميكرومتر بشكل منهجي. إن لزوجة وتطاير الحلول المقاومة لها تأثيرات معقدة لأن عملية ترسيب الطلاء باللف على الألياف تتكون بشكل أساسي من المنطقة المتأثرة. تم تحقيق الفيلم الموحد ورقيقة مقاومة وصولا الى سمك 1 ميكرومتر بنجاح. تم تشكيل أنماط دقيقة مع عرض الخط لأسفل إلى 6 ميكرومتر بنجاح على الألياف الضوئية باستخدام وحدة التعرض microfabricated. أكدت تجارب الطباعة الليثوغرافية الأولية أن تقنية الطباعة الضوئية ثلاثية الأبعاد الجديدة هي حل جذاب منخفض التكلفة لدمج المحولات الصغيرة على الألياف في مختلف التطبيقات. يمكن أن وحدة التعرض 3D أيضا تمكين عملية الليثوغرافيا الضوئية المستمر على الألياف.

مصدر: iopscience

لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة الموقع موقعنا على الانترنت: www.semiconductorwafers.net ،

أرسل لنا البريد الإلكتروني علىangel.ye@powerwaywafer.com أوpowerwaymaterial@gmail.com