وقد تم تقييم طبقة الجرافيت متوجا لحماية سطح زرع الفوقي 4H-سيك منقوشة بشكل انتقائي خلال عملية ما بعد الزرع الصلب. تم نسج آز-5214e مقاومة للضوء و خبز في فراغ في درجات حرارة تتراوح بين 750 إلى 850 درجة مئوية لتشكيل طلاء مستمر على حد سواء مستو و ميسا محفورا سيك السطوح مع ميزات تصل إلى 2 ميكرون في الارتفاع. والتحويل الكامل للالمهدرجة فيلم البوليمر مثل في طبقة الجرافيت نانوكريستالين تم التحقق من قبل الط...
لتحقيق كربيد السيليكون عالية الأداء ( كربيد ) يجب تطوير أجهزة الطاقة ، والاتصالات الأومنية منخفضة المقاومة إلى كربيد نوع سين. للحد من مقاومة التلامس الأومية ، هناك حاجة إلى خفض ارتفاع الحاجز في الواجهات المعدنية / كربيد أو زيادة تركيز المنشطات في ركائز كربيد السيليكون. بما أن الحد من ارتفاع الحاجز صعب للغاية ، فإن الزيادة في تركيز المنشطات في 4H-كربيد من قبل تقنية زرع ايون تم الطعن. تم ترسيب المعا...