وقد تم تقييم طبقة الجرافيت متوجا لحماية سطح زرع الفوقي 4H-سيك منقوشة بشكل انتقائي خلال عملية ما بعد الزرع الصلب. تم نسج آز-5214e مقاومة للضوء و خبز في فراغ في درجات حرارة تتراوح بين 750 إلى 850 درجة مئوية لتشكيل طلاء مستمر على حد سواء مستو و ميسا محفورا سيك السطوح مع ميزات تصل إلى 2 ميكرون في الارتفاع. والتحويل الكامل للالمهدرجة فيلم البوليمر مثل في طبقة الجرافيت نانوكريستالين تم التحقق من قبل الطيفي رامان. بقي طبقة الجرافيت السد غير التالفة وحمايتها على حد سواء مستو و ميسا محفورا سيك السطوح خلال الصلب لاحق في الأرجون المحيطة في درجات حرارة تصل إلى 1650 درجة مئوية لمدة 30 دقيقة. فإنه فعال قمع الخطوة بونغينغ و دوبانت خارج الانتشار في المناطق المزروعة و في وقت واحد ضمان أن سطح غير مزروع من 4h-سيك الفوقي رقاقة ظل خالية من التلوث. شوتكي الثنائيات الحاجز شكلت على الامم المتحدة مزروع السطوح صلب عرض الخصائص المثالية تقريبا.

soource: iopscience

لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت: HTTP: // www.semiconductorwafers.net ،

ترسل لنا البريد الإلكتروني في angel.ye@powerwaywafer.com أو powerwaymaterial@gmail.com