وقد تم تقييم طبقة الجرافيت متوجا لحماية سطح زرع الفوقي 4H-سيك منقوشة بشكل انتقائي خلال عملية ما بعد الزرع الصلب. تم نسج آز-5214e مقاومة للضوء و خبز في فراغ في درجات حرارة تتراوح بين 750 إلى 850 درجة مئوية لتشكيل طلاء مستمر على حد سواء مستو و ميسا محفورا سيك السطوح مع ميزات تصل إلى 2 ميكرون في الارتفاع. والتحويل الكامل للالمهدرجة فيلم البوليمر مثل في طبقة الجرافيت نانوكريستالين تم التحقق من قبل الط...
يتم استعراض التقدم الأخير في نمو الأفلام الفوق صوتي si على si. تمت مناقشة الأساليب الكلاسيكية الأساسية المستخدمة حاليًا في نمو الأفلام السينمائية ويتم استكشاف مزاياها وعيوبها. يتم إعطاء الفكرة الأساسية والخلفية النظرية لطريقة جديدة لتوليف أفلام sic الفوقي على si. سيتبين أن الطريقة الجديدة تختلف اختلافاً كبيراً عن التقنيات الكلاسيكية لنمو الأغشية الرقيقة حيث يتم استغلال تبخر الذرات على سطح الركيزة....
لتحقيق كربيد السيليكون عالية الأداء ( كربيد ) يجب تطوير أجهزة الطاقة ، والاتصالات الأومنية منخفضة المقاومة إلى كربيد نوع سين. للحد من مقاومة التلامس الأومية ، هناك حاجة إلى خفض ارتفاع الحاجز في الواجهات المعدنية / كربيد أو زيادة تركيز المنشطات في ركائز كربيد السيليكون. بما أن الحد من ارتفاع الحاجز صعب للغاية ، فإن الزيادة في تركيز المنشطات في 4H-كربيد من قبل تقنية زرع ايون تم الطعن. تم ترسيب المعا...
ال تطوير سوق SiC و GaN الطاقة أشباه الموصلات الحالة الراهنة لسوق التكنولوجيا والسوق ، و اتجاه التنمية في السنوات القليلة المقبلة. سوق جهاز كربيد واعدة. مبيعات حاجز شوتكي تنضج الثنائيات ومن المتوقع أن تزداد شحنات MOSFET إلى حد كبير على مدى السنوات الثلاث المقبلة. وفقا لمحللي Yole Développement ، كربيد هو ناضجة جدا من حيث الثنائيات ، و GaN لا يوجد لديه أي تحد على الإطلاق لدوائر كربيد السيليكون مع ال...
بالنسبة للمواد المتجانسة ، فإن طريقة الغمر بالموجات فوق الصوتية ، المرتبطة بعملية تحسين عددية تعتمد في الغالب على خوارزمية نيوتن ، تسمح بتحديد الثوابت المرنة لمختلف المواد المركبة الاصطناعية والطبيعية. ومع ذلك ، يحدث تقييد رئيسي لإجراءات التحسين الحالية عندما تكون المادة المدروسة في حدود الفرضية المتجانسة. هذه هي حالة مصفوفة كربيد المنسوجة ثنائية الاتجاه و ألياف SiC مادة مركبة. في هذه الدراسة ، قم...
وقد تم تطوير مفاعل epi ذي جدران عمودية يجعل من الممكن تحقيق معدل نمو مرتفع وتوحيد مساحة كبيرة في نفس الوقت. يتم تحقيق أقصى معدل نمو 250 ميكرومتر / ساعة مع مورفولوجيا تشبه مرآة في 1650 درجة مئوية. تحت المعدل برنامج التحصين الموسع مفاعل إعداد ، تماثل سمك 1.1 ٪ وتوحيد المنشطات من 6.7 ٪ لمساحة نصف قطرها 65 ملم مع الحفاظ على معدل نمو مرتفع من 79 ميكرومتر / ساعة. يتم الحصول على تركيز منشط منخفض قدره 1 ×...
يتم استعراض التطورات الحديثة في نمو أفلام SiC فوق المحور على Si. تمت مناقشة الأساليب الكلاسيكية الأساسية المستخدمة حاليًا في نمو أفلام SiC واستكشاف مزاياها وعيوبها. الفكرة الأساسية والخلفية النظرية لطريقة جديدة لتركيب أفلام SiC الفوقيةيتم إعطاء على سي. سيظهر أن الطريقة الجديدة تختلف اختلافًا كبيرًا عن التقنيات الكلاسيكية لنمو الأغشية الرقيقة حيث يتم استغلال تبخر الذرات على سطح الركيزة. تعتمد الطري...