يتم استعراض التقدم الأخير في نمو الأفلام الفوق صوتي si على si. تمت مناقشة الأساليب الكلاسيكية الأساسية المستخدمة حاليًا في نمو الأفلام السينمائية ويتم استكشاف مزاياها وعيوبها. يتم إعطاء الفكرة الأساسية والخلفية النظرية لطريقة جديدة لتوليف أفلام sic الفوقي على si. سيتبين أن الطريقة الجديدة تختلف اختلافاً كبيراً عن التقنيات الكلاسيكية لنمو الأغشية الرقيقة حيث يتم استغلال تبخر الذرات على سطح الركيزة.

تعتمد الطريقة الجديدة على استبدال بعض الذرات في مصفوفة السليكون بواسطة ذرات الكربون لتشكيل جزيئات كربيد السيليكون . سيتبين أن العملية التالية من التنوي التنفسي يحدث تدريجيا دون تدمير البنية البلورية لمصفوفة السليكون ، ويتم فرض اتجاه الفيلم المزروع بواسطة البنية البلورية الأصلية لمصفوفة السليكون (ليس فقط من خلال سطح الركيزة كما في الطرق التقليدية لنمو الفيلم). سيتم إعطاء مقارنة بين الطريقة الجديدة وتقنيات التمنيع الأخرى.

طريقة جديدة من epitaxy مرحلة الصلبة على أساس استبدال الذرات وعلى خلق ثنائيات الاقطاب توسع يحل واحدة من المشاكل الرئيسية في heteroepitaxy. فهو يوفر توليف من الأفلام الفوقيية غير المعطوبة المنخفضة مع فرق كبير بين المعلمات شعرية للفيلم والركيزة دون استخدام أي طبقات عازلة إضافية. تتميز هذه الطريقة بميزة فريدة أخرى تميزها عن التقنيات الكلاسيكية لنمو الأفلام السينمائية - فهي تسمح بتزايد أفلام sic من أشكال polytypes سداسية. سيتم وصف نوع جديد من التحول الطوري في المواد الصلبة بسبب التحويل الكيميائي لمادة واحدة إلى مادة أخرى نظريًا ويتم الكشف عنها تجريبيًا.

هذا النوع من التحول الطوري ، وآلية فئة واسعة من التفاعلات الكيميائية غير المتجانسة بين الغاز والمراحل الصلبة ، سوف يتضح من خلال مثال على نمو الطبقات الفوقية بسبب التفاعل الكيميائي للغاز المشترك مع مصفوفة السليكون أحادي البلورية. ينتج عن اكتشاف هذه الآلية نوعًا جديدًا من القوالب: تحديدًا ، ركائز ذات طبقات انتقالية عازلة لنمو أشباه الموصلات على السيليكون. سيتم الإبلاغ عن خصائص مجموعة متنوعة من الأفلام غير المتجانسة من أشباه الموصلات واسعة الفجوة (سيك ، ألن ، غان والألان) نمت على الركيزة كذا / si بواسطة epitaxy مرحلة الصلبة. لا تحتوي الأفلام المزروعة على أي شقوق ولديها جودة كافية لتصنيع الأجهزة الإلكترونية والبصرية. أيضا ، سيتم أظهر قدرات جديدة في توليف أفلام sic منخفضة (150 ملم قطر) منخفضة المعيب sic على ركائز سي.

لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت:www.semiconductorwafers.net ،

أرسل لنا البريد الإلكتروني علىangel.ye@powerwaywafer.com أوpowerwaymaterial@gmail.com