يسلط الضوء
• تم تحديد سمك الجرافين المزروع على sic بواسطة التنميط العميق للعمق.
• التحقق من عمق الآبار التحقق من وجود طبقة عازلة على sic.
• تم إظهار وجود روابط sys غير المشبعة في الطبقة العازلة.
• تم تحديد توزيع كثافة الجينين على الويفر.
تم تطبيق التنظير الطيفي للمغناطيس الإلكترونى (aes) لتحديد سمك طبقة الجرافين ذات الحجم العكرى التى نمت على 2 in. 6h-sic (0 0 0 1) بواسطة epitaxy للتسليم. تنقسم صورة العمق المقاسة من الشكل الأسي المتوقع الذي يوضح وجود طبقة عازلة إضافية. تمت مقارنة بروفيل العمق المقاس بالمشاهد المحاكية التي سمحت باشتقاق سمك الجرافين والطبقات العازلة والتركيز si للطبقة العازلة. وقد تبين أن الطبقة العازلة تشبه الجرافين تحتوي على حوالي 30 ٪ غير مشبعة. أجريت عملية تحديد عمق الأعماق في عدة نقاط (قطر 50 ميكرومتر) ، مما سمح ببناء توزيع سمك يميز توحيد ورقة الجرافين.
الكلمات الدالة
الجرافين على sic؛ تكوين الطبقة العازلة ؛ aes عمق التنميط؛ سمك الجرافين التسامي تطبيقي
المصدر: موقع ScienceDirect
لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت: www.powerwaywafer.com ، أرسل لنا البريد الإلكتروني في sales@powerwaywafer.com أو powerwaymaterial@gmail.com .
معلومات الاتصال
luna@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com 
+86-592-5601 404
