تسمح عملية الرفع الفوقي للفصل بين طبقات جهاز iii – v من أرسينات arsenides الشفافة ، وقد تم استكشافها على نطاق واسع لتجنب ارتفاع تكلفة الأجهزة iii – v عن طريق إعادة استخدام الركائز. تتطلب عمليات الرفع الفوقي التقليدية العديد من خطوات ما بعد المعالجة لاستعادة الركيزة إلى حالة جاهزة epi. هنا نقدم مخطط الفك الفوقي الذي يقلل من كمية بقايا ما بعد الحفر ويحافظ على سطح أملس ، مما يؤدي إلى إعادة استخدام مباشرة لركيزة زرنيخيد ال gallاليوم. يتم التأكيد على نجاح إعادة الركيزة المباشرة من خلال مقارنة أداء الخلايا الشمسية التي تزرع على الركائز الأصلية وإعادة استخدامها. بعد ميزات عملية الرفع الفوقي ، تم تطوير تقنية عالية الإنتاجية تسمى الرفع الفوقي بمساعدة التوتر السطحي. بالإضافة إلى عرض نقل الغشاء الرقيق لأرسينيد ال gallاليوم الغليظ الكامل على كل من الركائز الصلبة والمرنة ، فإننا نعرض أيضًا الأجهزة ، بما في ذلك الصمام الثنائي الباعث للضوء ومكثف أكسيد المعادن-أشباه الموصلات ، الذي تم بناؤه أولاً على طبقات نشطة رقيقة ثم نقل إلى ركائز ثانوية.

الشكل 1: مفهوم عمليّة الرفع الفوقي (elo) و morphologies في مرحلة ما بعد elo gaas مع عمليات تقليدية وأخرى جديدة.

(أ) رسم تخطيطى لعملية الألف العامة. (ب ، ج) الرسوم التوضيحية التخطيطية للتفاعلات الكيميائية بالقرب من واجهات طبقة / etchant التقريبي خلال العملية التقليدية والرواية ايلو و afm imm ثلاثي الأبعاد ...

الشكل 2: الأشكال المورفولوجية السطحية لأسطح gaas أثناء عملية \"elo\"

(أ) صور AFM من سطح الركيزة gaas انخفضت في كل من تتركز و dilutedhf و hcl لمدة يوم واحد. (ب ، ج) هي الرسوم التوضيحية التخطيطية للكيمياء السطحية للـ gaas المغطاة في hf و hcl ، على التوالي.

الشكل 3: أداء الخلايا الشمسية gaas تقاطع واحد ملفقة على ركائز جديدة وإعادة استخدامها

( أ) الكثافة الحالية مقابل خصائص الجهد (j – v) لخلايا gaas sj الشمسية المزروعة والمكوّنة على رموز جديدة (رموز خضراء) وإعادة استخدامها (رموز زرقاء). أقحم: المعلمات أداء الخلية الشمسية. (ب) eqe من الخلايا الشمسية التي تنمو على ...

الشكل 4: عملية سوية بمساعدة سطح التوتر.

(أ) رسم توضيحي تخطيطي لعملية المعالجة السطحية بمساعدة السطح (sta). (ب) معدل الحفر من inalp في hcl كدالة اتجاه البلورات. الحد الأقصى لتحديد معدل الحفر في. تم تطبيع جميع البيانات من قبل ماكس ...

الشكل 5: أفلام gaas الرقيقة المنقولة إلى ركائز صلبة ومرنة.

(أ) مظاهر من الأفلام gaas المنقولة إلى الركيزة الصلبة (يسار ، gaas على 4 ″ سي رقاقة. المركز ، gaas على جسم صلب منحني. الحق ، gaas على الزجاج) و (ب) ركائز مرنة (يسار ، gaas على الشريط الحق ، gaas على مرونة ...

الشكل 6: عرض الأجهزة المنقولة عبر عملية جديدة للأغنية.

(أ) نقل 2 ″ algaas أدى على 2 ″ si wafer والصورة البصرية من انبعاث الضوء. شريط مقياس ، 5 سم. (ب) خصائص السعة والجهد (c – v) لجاموس na gaas قبل وبعد نقله إلى شريط مرن. أقحم: البصريات ...

مصدر: طبيعة

لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت: www.powerwaywafer.com ، أرسل لنا البريد الإلكتروني في sales@powerwaywafer.com