اكتشفنا نيتريد السيليكون الجديد مع التماثل مكعب شكلت في السيليكون في واجهة تا / سي من نظام فيلم رقيق تان / تا / si (100) عندما رقاقة السيليكون كان صلبا في 500 أو 600 درجة مئوية. نمت نتوء النيتريك مكعب في بلورة السليكون في شكل هرم معاكس بعد عملية التلدين. كانت المستويات الحدودية للهرم المعكوس هي {111} طائرة بلورة السليكون. العلاقة التوجه بين نيتريد السيليكون وبلورة السليكون هي مكعب إلى مكعب. إن ثابت الشبكة من نيتريد السيليكون الجديد هو = 0.5548 نانومتر وهو أكبر بحوالي 2.2٪ من بلورة السيليكون.
مصدر: iopscience
لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة الموقعموقعنا على الانترنت: http://www.semiconductorwafers.net ،
أرسل لنا البريد الإلكتروني على angel.ye@powerwaywafer.com أو powerwaymaterial@gmail.com
معلومات الاتصال
luna@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com 
+86-592-5601 404
