هناك طريقة للتحكم في التنوي والنمو الأفقي باستخدام أنماط النمو ثلاثية الأبعاد (3D) والنمو ثنائي الأبعاد (2D) لتقليل كثافة التفكك. أجرينا نمو 3D-2D-AlN على ركائز 6H-SiC للحصول على طبقات ALN عالية الجودة وخالية من التشقق بواسطة حلحلة طور بخار هيدريد منخفض الضغط (LP-HVPE). أولاً ، أجرينا نمو 3D-AlN مباشرة على الركيزة 6H-SiC . مع زيادة نسبة V / III ، انخفضت كثافة جزيرة AlN وزاد حجم الحبوب. الثانية ، تم زرع 3D - 2D - ALN الطبقات مباشرة على الركيزة 6H-SiC . مع زيادة نسبة V / III من 3D-AlN ، تم تحسين الصفات المتبلرة للطبقة ثلاثية الأبعاد - ثنائية الأبعاد. ثالثًا ، أجرينا نموًا ثلاثي الأبعاد - ثنائي الأبعاد - AlN على نمط 6H الركيزة كربيد . تم تقليل كثافة الكراك لتخفيف الضغط عن طريق الفراغات. قمنا أيضا بتقييم كثافة خلع التخييط باستخدام التنميش KOH / NaOH المنصهر. ونتيجة لذلك ، كانت الكثافة المقدرة لتفكك الحافة في العينة ثلاثية الأبعاد-ثنائية الأبعاد هي 3.9 × 108 سم − 2.
مصدر: iopscience
لمزيد من المعلومات أو الرسائل المهنية الأخرى حول الركيزة كربيد ، رقاقة SiC إلخ SiC أشباه الموصلات ، يرجى زيارة موقعنا على شبكة الانترنت:semiconductorwafers.net
أرسل لنا البريد الإلكتروني علىangel.ye@powerwaywafer.com أوpowerwaymaterial@gmail.com