يسلط الضوء

تم تقييم أداء السيليكا الغروية والسيريا على أساس الطين على cmp من ركائز 6h-sic.

• كان هناك فرق معنوي في أداء الـ cmp لـ6h-sic بين السيليكا والسيريا.

• بالنسبة للعجائن المرتكزة على السيريا ، تم الحصول على mrr أعلى ، خاصة في بيئة الحمض القوي kmno4.

• كان الحد الأقصى من mrr من السيليكا والسيريا المستندة إلى العجول 185 نانومتر / ساعة و 1089 نانومتر / ساعة على التوالي.

تم فحص السليكا الغرواني والسيريا المستنبتة ، باستخدام كل من kmno4 كمؤكسد ، للتلميع الكيميائي الكيميائي لـ ci (0 0 0 1) 6h-sic substrate ، للحصول على معدل إزالة عالي للمواد (mrr) و سطح أملس. تشير النتائج إلى وجود فرق معنوي في أداء الـ cmp لـ6h-sic بين السيليكا والسيريا. تم الحصول على mrr الأعلى ، خاصة في بيئة الحمض القوي kmno4 ، والحد الأقصى للسطر mrr (1089 نانومتر / ساعة) وسطح أكثر سلاسة بمتوسط ​​خشونة ra قدره 0.11 نانومتر ، وذلك باستخدام الطين يحتوي على 2٪ بالوزن الغروي ceria، 0.05 m kmno4 عند درجة الحموضة 2. على النقيض من ذلك ، نظرًا للجذب بين جسيمات السيليكا المشحونة سالبة والسطح الموجب المشحون الموجب تحت PH 5 ، كان أقصى mrr لملاط أساسه السيليكا يبلغ 185 nm / h فقط مع خشونة السطح r أ عند 0.254 نانومتر باستخدام مواد تحتوي على 6 ٪ من وزن السيليكا الغروية ، 0.05 متر kmno4 في درجة الحموضة 6. تمت مناقشة آلية التلميع على أساس قياسات الزيتا المحتملة للمواد الكاشطة والتحليل الطيفي للأشعة السينية للأشعة السينية (xps) للأسطح السطحية المصقولة.

ملخص رسومي

كان هناك اختلاف كبير في أداء cmp من 6h-sic بين السيليكا والسيريا المستندة إلى الطين. لالعجول مقرها ceria ، وهيغ

تم الحصول عليها mrr ، لا سيما في بيئة قوية الحمض kmno4.

الكلمات الدالة

الميكانيكية الكيميائية تلميع (cmp)؛ كربيد السيليكون (كذا) ؛ السيليكا. CERIA

المصدر: موقع ScienceDirect

لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت: www.powerwaywafer.com ، أرسل لنا البريد الإلكتروني في sales@powerwaywafer.com.