micropipe ، والذي يشار إليه أيضًا باسم \"micropore\" أو \"microtube\" أو \"العيب الشعري\" أو \"عيب الثقب\" ، هو عيب بلوري في طبقة بلورية واحدة. وهو معلمة مهمة لمصنّعي ركائز كربيد السيليكون (sic) التي وتستخدم في مجموعة متنوعة من الصناعات مثل أجهزة أشباه الموصلات الطاقة للمركبات وأجهزة الاتصالات عالية التردد.

ومع ذلك ، أثناء إنتاج هذه المواد ، يخضع البلور للضغوط الداخلية والخارجية مما يسبب نمو العيوب ، أو الاضطرابات ، داخل الشبكة الذرية.

اختلال لولبي هو خلع شائع يقوم بتحويل الطائرات الذرية المتتالية ضمن شبكة كريستالية إلى شكل حلزون. بمجرد انتشار خلع برغي من خلال الجزء الأكبر من العينة خلال عملية نمو رقاقة ، يتم تشكيل micropipe. فإن وجود كثافة عالية من micropipes داخل رقاقة سوف يؤدي إلى فقدان العائد في عملية تصنيع الجهاز.

تستمد عادة micropipes والاختراق المسمار في الطبقات الفوقي من الركائز التي يتم تنفيذ epitaxy. micropipes تعتبر اختلالات لولبية فارغة مع طاقة إجهاد كبيرة (بمعنى أنها تحتوي على ناقلات كبيرة من البرجر) ؛ يتبعون اتجاه النمو (محور ج) في كرات كربيد السيليكون والركائز التي تنتشر في طبقات الفوقي المودعة.

العوامل التي تؤثر على تشكيل micropipes (وغيرها من العيوب) هي عوامل النمو مثل درجة الحرارة ، supersaturation ، stoichiometry بخار المرحلة ، الشوائب وقطبية سطح الكريستال البذور.

كثافة الميكروفايب (mpd) هي معلمة حاسمة لركائز كربيد السيليكون (sic) التي تحدد جودة وثبات وعائد أجهزة أشباه الموصلات المبنية على هذه الركائز. يتم التأكيد على أهمية mpd من خلال حقيقة أن جميع المواصفات الحالية للركائز 6h و 4h-sic تحدد الحدود العليا لذلك.