nanofabrication

nanofabrication

بام شيامن العروض مقاومة للضوء لوحة مع مقاومة للضوء

نستطيع عرض طباعة حجرية نانوية ( الليثوغرافيا الضوئية ):تحضير السطح، مقاومة للضوء تطبيق، خبز لينة، المحاذاة، التعرض، التنمية، خبز الصلب، تطوير التفتيش، حفر، مقاومة للضوء إزالة (الشريط)، التفتيش النهائي.

ا مقاومة للضوء هو مادة حساسة للضوء تستخدم في العديد من العمليات، مثل الليثوغرافيا الضوئية والحفر، لتشكيل طلاء منقوشة على السطح، وهو أمر بالغ الأهمية في صناعة الإلكترونية بأكملها.

مقاومة إيجابية هو نوع من مقاومة للضوء التي جزء من مقاومة للضوء التي تتعرض للضوء يصبح قابل للذوبان إلى مقاومة للضوء مطور. الجزء غير معترض من مقاومة للضوء لا تزال غير قابلة للذوبان إلى مقاومة للضوء مطور.

سلبي مقاومة للضوء هو نوع من مقاومة للضوء التي جزء من مقاومة للضوء التي تتعرض للضوء يصبح غير قابلة للذوبان إلى مقاومة للضوء مطور. الجزء غير معترض من مقاومة للضوء يذوب من قبل مقاومة للضوء مطور.

استنادا إلى التركيب الكيميائي لل مقاومات الضوء ، فإنها يمكن أن تصنف إلى ثلاثة أنواع: فوتوبوليمريك، فوتوديكومبوسينغ، فوتوكروسلينكينغ، مقاومة للضوء .

التطبيقات:

ميكروكونتاكت الطباعة

تصنيع لوحات الدوائر المطبوعة (بب)

والنمذجة والحفر من ركائز

الالكترونيات الدقيقة

مقاومة للضوء microposit

futurrex

آخر مقاومات الضوء ،

للحصول على المساعدة التقنية، يرجى استخدام نموذج التعليمات الفورية

الركيزة السيليكون الركيزة 2 "3" 4 "5" 6 "8"

الكوارتز الركيزة SSP / حزب اليسار الديمقراطى

الركيزة الزجاج ن / ع

sio2 الركيزة 100/110/111

الركيزة الأخرى،

للحصول على المساعدة التقنية، يرجى استخدام نموذج التعليمات الفورية

الاختلافات بين المقاومة الإيجابية والسلبية

الإجراء الأساسي

تكرار واحد من الليثوغرافيا الضوئية يجمع بين عدة خطوات في تسلسل. وتستخدم غرف الأبحاث الحديثة أنظمة المسار الآلي، الروبوتية لتنسيق العملية. فإن الإجراء الموصوف هنا يغفل بعض العلاجات المتقدمة، مثل عوامل التخفيف أو إزالة الحافة.

تنظيف

إذا كانت الملوثات العضوية أو غير العضوية موجودة على سطح الرقاقة، فإنها عادة ما تتم إزالتها عن طريق المعالجة الكيميائية الرطبة، على سبيل المثال. الإجراء نظيفة رسيا على أساس الحلول التي تحتوي على بيروكسيد الهيدروجين. والحلول الأخرى المصنوعة من ثلاثي كلور الإيثيلين، الأسيتون أو الميثانول يمكن أن تستخدم أيضا لتنظيف.

تجهيز

يتم تسخين الرقاقة في البداية إلى درجة حرارة كافية لدفع أي الرطوبة التي قد تكون موجودة على سطح رقاقة، 150 درجة مئوية لمدة عشر دقائق كافية. يجب تنظيف الرقائق التي تم تخزينها كيميائيا لإزالة التلوث. يتم تطبيق السائل أو الغازية "المروج التصاق"، مثل مكرر (تريميثيلزيليل) أمين ("هيكساميثيلديسيلازان"، همدس)، لتعزيز التصاق مقاومة للضوء إلى الرقاقة. الطبقة السطحية من ثاني أكسيد السيليكون على الرقاقة تتفاعل مع همدس لتشكيل ثلاثي ميثيلد السيليكون ثاني أكسيد، طبقة مضادة للماء للغاية لا يختلف عن طبقة الشمع على طلاء السيارة. هذه الطبقة طارد المياه يمنع المطور مائي من اختراق بين مقاومة للضوء طبقة والسطح الرقاقة، وبالتالي منع ما يسمى رفع صغيرة مقاومة للضوء الهياكل في نمط (النامية). من أجل ضمان تطوير الصورة، فمن الأفضل تغطيتها ووضعها على طبق ساخن والسماح لها الجافة في حين استقرار درجة الحرارة عند 120 درجة مئوية.

مقاومة للضوء الوضعية

يتم تغطية رقاقة مع مقاومة للضوء بواسطة طلاء تدور. يتم الاستغناء عن حل السائل اللزج من مقاوم للضوء على الرقاقة، ويتم نسج الرقاقة بسرعة لإنتاج طبقة سميكة بشكل موحد. يدور طلاء سبين عادة في 1200 إلى 4800 دورة في الدقيقة لمدة 30 إلى 60 ثانية، وتنتج طبقة بين 0.5 و 2.5 ميكرومتر سميكة. عملية الطلاء تدور النتائج في طبقة رقيقة موحدة، وعادة مع التوحيد من 5 إلى 10 نانومتر. ويمكن تفسير هذا التوحيد عن طريق النمذجة السوائل الميكانيكية الميكانيكية، مما يدل على أن مقاومة يتحرك أسرع بكثير في الجزء العلوي من طبقة مما كانت عليه في القاع، حيث القوات اللزجة ربط مقاومة على السطح رقاقة. وبالتالي، يتم طرد الطبقة العليا من مقاومة بسرعة من حافة الرقاقة في حين أن الطبقة السفلى لا يزال يزحف ببطء شعاعي على طول الرقاقة. وبهذه الطريقة، يتم إزالة أي "عثرة" أو "التلال" من مقاومة، وترك طبقة مسطحة جدا. يتم تحديد سماكة النهائي أيضا عن طريق تبخر المذيبات السائلة من المقاومة. (لوت؛ 125 أو نحو ذلك نانومتر)، هناك حاجة إلى أقل مقاومة سمك (u0026 لوت؛ 0.5 ميكرومتر) للتغلب على آثار الانهيار في نسب عالية الارتفاع. نسب الجانب النموذجي هي u0026 لوت؛ 4: 1.

ثم يرقى رقاقة مقاومة المغلفة الصورة لدفع قبالة الزائدة مقاومة للضوء المذيبات، وعادة في 90 إلى 100 درجة مئوية لمدة 30 إلى 60 ثانية على موقد.

التعرض والتطور

بعد مسبقة، و مقاومة للضوء يتعرض لنمط من الضوء المكثف. فإن التعرض للضوء يؤدي إلى تغيير كيميائي يسمح لبعض من مقاومة للضوء ليتم إزالتها من قبل حل خاص، ودعا "المطور" قياسا مع المطور الفوتوغرافي. إيجابي مقاومة للضوء ، النوع الأكثر شيوعا، يصبح قابل للذوبان في المطور عندما يتعرض؛ مع سلبية مقاومة للضوء ، والمناطق غير المعرضة للذوبان في المطور.

يتم تنفيذ خبز بعد التعرض (بيب) قبل تطوير، وعادة للمساعدة في تقليل الظواهر موجة دائمة الناجمة عن أنماط التدخل المدمرة والبناء للضوء الحادث. في الطباعة الحجرية فوق البنفسجية العميق، وتستخدم كيميائيا تضخيم مقاومة (سيارة) الكيمياء. هذه العملية هي أكثر حساسية للوقت بيب، ودرجة الحرارة، والتأخير، حيث أن معظم "التعرض" رد فعل (خلق حمض، مما يجعل البوليمر قابل للذوبان في المطور الأساسي) يحدث في الواقع في بيب.

يتم تسليم الكيمياء تطوير على الدوار، مثل الكثير مقاومة للضوء. المطورين في الأصل غالبا ما تحتوي على هيدروكسيد الصوديوم (ناوه). ومع ذلك، يعتبر الصوديوم ملوث غير مرغوب فيه للغاية في تلفيق موسيت لأنه يحلل خصائص العزل من أكاسيد البوابة (على وجه التحديد، أيونات الصوديوم يمكن أن تهاجر داخل وخارج البوابة، وتغيير الجهد عتبة الترانزستور وجعلها أكثر صعوبة أو أسهل لتحويل الترانزستور على مر الزمن). يتم استخدام مطوري خالية من أيونات المعادن مثل هيدروكسيد رباعي أمثيل أمونيوم (تماه) الآن.

ثم يتم "رقاقة خبز" إذا تم استخدام مقاومة تضخيم غير كيميائيا، وعادة في 120 إلى 180 درجة مئوية [بحاجة لمصدر] لمدة 20 إلى 30 دقيقة. الخبز الصعب يصلب المتبقية مقاومة للضوء ، لجعل طبقة حماية أكثر دواما في المستقبل زرع أيون، الحفر الكيميائي الرطب، أو البلازما النقش.

خرط

في الحفر، السائل ("الرطب") أو البلازما ("الجافة") عامل كيميائي يزيل الطبقة العليا من الركيزة في المناطق التي ليست محمية بواسطة مقاومة للضوء . في تصنيع أشباه الموصلات، وتستخدم تقنيات الحفر الجاف عموما، لأنها يمكن أن تكون متباينة الخواص، من أجل تجنب تقويض كبير من مقاومة للضوء نمط. وهذا أمر ضروري عندما يكون عرض الميزات التي سيتم تعريفها مشابها أو أقل من سمك المادة التي يجري محفورا (أي عندما تقترب نسبة العرض إلى الارتفاع). عمليات الحفر الرطب هي عادة متناحية في الطبيعة، والتي غالبا ما تكون لا غنى عنها لأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة، حيث يجب أن تكون "هياكل" تعليق "من الطبقة الأساسية.

تطوير منخفضة-- ديفيكتيفيتي متباين الخواص عملية حفر الجافة مكنت ميزات أصغر من أي وقت مضى محددة فوتوليثوغرافيكالي في مقاومة ليتم نقلها إلى المواد الركيزة.

مقاومة للضوء إزالة

بعد مقاومة للضوء لم تعد هناك حاجة، يجب إزالتها من الركيزة. وهذا عادة ما يتطلب السائل "مقاومة متجرد"، الذي يغير كيميائيا مقاومة بحيث لم يعد التمسك الركيزة. بدلا من ذلك، مقاومة للضوء يمكن إزالتها بواسطة بلازما تحتوي على الأكسجين، والتي تتأكسد. وتسمى هذه العملية أشينغ، ويشبه النقش الجاف. استخدام 1-ميثيل-2-بيروليدون (نمب) مذيب ل مقاومة للضوء هي طريقة أخرى تستخدم لإزالة صورة. عندما تم حل مقاومة، يمكن إزالة المذيب عن طريق التسخين إلى 80 درجة مئوية دون ترك أي بقايا.

ميكروبوسيت s1800 g2 سلسلة مقاومة للضوء

سلبية مقاومة nr9-6000py

سلبية مقاومة nr9-6000p