نبذة مختصرة
يستخدم سيكو اتشانت تقليديا لتعيين عيوب نمط التدفق (فبدس) في تشوكرالسكي مخدر خفيف (تشيكوسلوفاكيا) رقائق السيليكون. ومع ذلك، فإن فبدس في مخدر بشدة من نوع p رقائق السيليكون لا يمكن أن تكون محددة بشكل جيد من قبل سيكو إيتشانت. هنا، إشتانت على أساس نظام cro3hfh2o، مع نسبة حجم الأمثل من الخامس (cro3): v (هف) = 2: 3، حيث تم تركيز تركيز cro3 0.25-0.35 م، وقد وضعت لتعيين من فبدس مع مورفولوجيز محددة جيدا لل بورون بشدة (ب) -دوب p- نوع رقائق السيليكون.
الكلمات الرئيسية: مخدر بشدة p- نوع السيليكون، وعيوب نمط التدفق، ديلينيت، النقش التفضيلي
المصدر: موقع ScienceDirect
لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت: http://www.semiconductorwafers.net ،
ترسل لنا البريد الإلكتروني في angel.ye@powerwaywafer.com أو powerwaymaterial@gmail.com .