نقدم تقريرًا هنا عن عملية مزدوجة الجوانب لتصنيع مرآة صغيرة ذات محرك مشط على منصة gan-on-silicon. يتم تشكيل ركيزة السيليكون أولاً من المؤخر وإزالتها عن طريق الحفر الأيوني العميق ، مما يؤدي إلى بلاطات جانية معلقة تماماً. يتم بعد ذلك تعريف البنى المجهرية بما في ذلك قضبان الالتواء ، الأمشاط المنقولة وطبق المرآة على لوح جانبي قائم بذاته بواسطة تقنية المحاذاة الخلفية ، ويتم إنتاجه بواسطة الحفر بحزم ذرات سريع مع غاز cl2. على الرغم من أن المرايا المصغرة ذات المحرك المشطوب تنحرف عن طريق الضغط المتبقي في الأغشية الرقيقة ، فإنها يمكن أن تعمل على ركيزة سيليكون عالية المقاومة دون إدخال أي طبقة عزل إضافية. تتميز زوايا الدوران البصري تجريبيًا في تجارب الدوران. ويفتح هذا العمل إمكانية إنتاج أجهزة gan optical electro-electro-system (mms) الضوئية على منصة gan-on-silicon.
مصدر: iopscience
لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت: http://www.semiconductorwafers.net ،
أرسل لنا البريد الإلكتروني على angel.ye@powerwaywafer.com أو powerwaymaterial@gmail.com
معلومات الاتصال
luna@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com 
+86-592-5601 404
