نبذة مختصرة
نحن تصف تقنيات لأداء الشعاع الضوئي والإلكترون شعاع الطباعة الحجرية في الخلافة على نفس الركيزة مغطاة مقاومة. يتم تعريف فتحات أكبر في مقاومة الفيلم من خلال ضوئيات في حين يتم تعريف فتحات أصغر من خلال الطباعة الحجرية شعاع الالكترون التقليدية. يتم تنفيذ العمليتين واحدة تلو الأخرى ودون خطوة وسيطة تطوير الرطب. في ختام التعرضين، يتم تطوير الفيلم مقاومة مرة واحدة للكشف عن فتحات كبيرة وصغيرة. ومن المثير للاهتمام، أن هذه التقنيات تنطبق على كل من الطباعة الحجرية الإيجابية والسلبية مع كل من التعرض الضوئي والإلكترون شعاع. يستخدم ميثاكريلات البوليمثيل، في حد ذاته أو مختلطة مع عامل عبر ربط حفاز ضوئي، لهذا الغرض. ونحن نبرهن على أن هذه المقاومة هي حساسة على حد سواء الأشعة فوق البنفسجية والإشعاع شعاع الإلكترون. كل أربع مجموعات ممكنة، تتكون من الطباعة الحجرية الضوئية والإلكترون شعاع، نفذت في لهجة إيجابية وسلبية وقد وصفت وسائط. وقد تم عرض هياكل صريف مظاهرة ووصفت ظروف العملية لجميع الحالات الأربع.
مصدر: iopscience
لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت: http://www.semiconductorwafers.net ،
الصورة نهاية لنا البريد الإلكتروني في angel.ye@powerwaywafer.com أو powerwaymaterial@gmail.com .
معلومات الاتصال
luna@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com 
+86-592-5601 404
