تمت دراسة تأثير التلدين على الإجهاد المتبقي والتوتر في رقائق cdznte باستخدام طريقة حيود الأشعة السينية (xrd). أثبتت النتائج فعالية التلدين على الحد من الإجهاد والتوتر المتبقية. من خلال وسائل نقل المجهر الإلكتروني (تيم) وتحاليل الأشعة تحت الحمراء (ir) ، وجد أن التفكك الانزلاقي ، ينقص في حجم رواسب te ، تشتت رواسب te ، تكوين التجانس ، وإعادة تركيب العيوب النقطية ساهمت في تخفيض من الإجهاد والتوتر المتبقية خلال التلدين من الرقاقة. بالإضافة إلى ذلك ، أدى الضغط المتبقي الأكبر في رقائق cdznte إلى عدم تكيف شعرية أكبر. وبالتالي ، لمزيد من الإجهاد والتوتر المتبقية في رقاقة cdznte ، سيتم خفض انتقال الأشعة تحت الحمراء.
الكلمات الدالة
A1. صلب. A1. شعرية شعرية A1. ترسب؛ A1. الإجهاد المتبقي والتوتر. A1. حيود الأشعة السينية؛ B2. cdznte. B2. المواد نصف المصنعة ذات أشباه الموصلات
المصدر: موقع ScienceDirect
لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت: www.powerwaywafer.com ، أرسل لنا البريد الإلكتروني في sales@powerwaywafer.com .