تم التحقق من الملاحظة على الخط وتصنيف علامات الماء بعد عملية التجفيف فيما يتعلق بقابلية الرقائق للبلل وطرق التجفيف المطبقة. لوحظ تكوين علامات مائية باستخدام نظام فحص رقاقة KLA وماسح ضوئي للجسيمات على رقاقات مختلفة محبة للماء وكارهة للماء مع أنماط وبدون أنماط. تم غزل الرقاقات وتجفيف بخار IPA كدالة لوقت التعرض للهواء. لم تخلق الرقاقات المحبة للماء أي علامات مائية مع التجفيف باللف أو البخار. يعتبر وقت التعرض للهواء والطريقة الجافة أكثر حساسية مع الأسطح الكارهة للماء في تكوين علامات مائية. أدى التجفيف الدوراني للرقائق المقاومة للماء إلى خلق كمية كبيرة من علامات المياه بغض النظر عن وقت التعرض للهواء. الرقاقات المحبة للماء أو الكارهة للماء بشكل متجانس مع وبدون أنماط لم تخلق أي علامات مائية بعد تجفيف الرقائق بالبخار. ومع ذلك ، فإن الرقاقات المنقوشة التي تحتوي على مواقع كارهة للماء ومحبة للماء خلقت علامات مائية حتى في بخار IPA الجاف. يشير هذا إلى أن طريقة الترطيب والتجفيف للرقاقة تلعب دورًا مهمًا في تكوين علامات مائية فيالعمليات الرطبة أشباه الموصلات .
المصدر: IOPscience
لمزيد من المعلومات ، يرجى زيارة موقعنا على الإنترنت: www.semiconductorwafers.net ،
أرسل لنا بريدًا إلكترونيًا على sales@powerwaywafer.com أو powerwaymaterial@gmail.com
معلومات الاتصال
luna@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com 
+86-592-5601 404
