وقد نمت طبقات nonpolar a-m و m-plane aln على طبقة و m-plane 6h-sic substrates بواسطة هَيْدِيَة طور بخار هيدريد منخفض الضغط (lp-hvpe) ، على التوالي. تم دراسة تأثير درجة حرارة النمو. أظهرت النتائج أن خشونة السطح تم تقليلها عن طريق زيادة درجة الحرارة لكل من طبقات al-plane و m-plane aln. تم الكشف عن تباين الشكل المورفولوجي داخل الطائرة عن طريق المسح المجهري الإلكتروني والمجهر الذري ، والذي تم استخدامه لتصوير التحولات المورفولوجية والهيكلية مع درجة الحرارة. تم الكشف عن تباين في منحنيات هزاز الأشعة السينية على محور بواسطة حيود الأشعة السينية عالية الدقة. ومع ذلك ، مقارنة بطبقة طبقة a-plane ، تم الحصول بسهولة على سطح أملس لطبقة m-plane aln مع جودة بلورية جيدة. كانت درجة الحرارة المثلى أقل لطبقة طبقة m-plane من تلك الخاصة بطبقة a-plane aln. تمت دراسة خصائص الإجهاد للطبقات nonpolar aln باستخدام أطياف raman المستقطبة. أظهرت النتائج وجود ضغوط متباينة الخواص داخل الطائرة داخل طبقات النواة غير الفوقية nonpolar aln.

الكلمات الدالة

A1. تباين الطائرة A1. اقطبي. A1. طيف رامان A3. hyditide بخار مرحلة epitaxy؛ B2. a-plane و m-plane aln؛ B2. sic الركيزة

المصدر: موقع ScienceDirect

لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت: www.powerwaywafer.com ، أرسل لنا البريد الإلكتروني في sales@powerwaywafer.com أو powerwaymaterial@gmail.com .