يسلط الضوء

• نمت الأفلام الرقيقة n-polar inaln على ركائز gan بواسطة epitaxy beam الجزيئي.

• تحول مورفولوجيا السطح من شبه 3D إلى خطوة التدفق في درجة حرارة عالية.

• لوحظ تشبع الإنديوم لزيادة تدفق الإنديوم عند درجة حرارة عالية.

• ساعد زيادة تدفق الألومنيوم في زيادة كفاءة دمج الإنديوم.

· تم عرض أفلام ناتال قطبية مع خشونة تبلغ 0.19 نانومتر.

نبذة مختصرة

نمت الأفلام الرقيقة n-polar inaln بواسطة epitaxy الحزم الجزيئية بمساعدة البلازما على ركائز gan قائما بذاته في ظروف غنية n-. وتفاوت تدفق الإنديوم والألمنيوم بشكل مستقل عند درجات حرارة الركيزة تحت وفوق بداية الامتصاص الحراري للانديوم. في درجات الحرارة المنخفضة ، يتم تحديد التركيب الداخلي ومعدل النمو من خلال تدفقات المجموعة الثالثة. مع زيادة درجة الحرارة الركيزة ، والتحولات مورفولوجيا السطح من شبه 3D إلى مورفولوجيا السلس ، 2D في درجات حرارة أعلى بكثير من بداية فقدان الإنديوم. عند درجات حرارة أعلى ، نلاحظ زيادة تبخر الإنديوم مع تدفقات إنديوم أعلى وقمع تبخر الإنديوم مع زيادة تدفق الألمنيوم. النتيجة النهائية النهائية للأفلام الرقيقة المحسنة في تدفقات تدفق الخطوة مع جاذبية rms تبلغ 0.19 نانومتر ونوعية بينية عالية.

الكلمات الدالة

A1. مورفولوجيا الكريستال. A1. الامتزاز. A3. الشارة الجزيئية B1. نتريدات. B2. مركبات ثلاثية أشباه الموصلات

المصدر: موقع ScienceDirect

لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت : www.powerwaywafer.com ، أرسل لنا البريد الإلكتروني على sales@powerwaywafer.com .