قدرة مطيافية انبعاث ضوئية للدراسة في الموقع والتحكم في ترسب الطبقة الذرية المحسنة بالبلازما (pe-ald)فوسفيد الغاليوممن الفوسفين و trimethylgallium يحملها الهيدروجين تم استكشافها. تمت مراقبة تغير تركيبة الغاز أثناء عملية pe-ald بواسطة قياسات موضعية لشدة انبعاث ضوئية لخطوط الفوسفين والهيدروجين. لعملية pe-ald حيث يتم فصل خطوات الفوسفور وترسب الغاليوم في الوقت الذي لوحظ تأثير سلبي لتراكم الفوسفور الزائد على جدران الغرفة. في الواقع ، يتم حفر الفسفور المترسب على الجدران خلال خطوة تحلل ph3 بواسطة بلازما الهيدروجين خلال الخطوة التالية تحلل trimethylgallium مما يؤدي إلى ترسب البخار الكيميائية المحسنة البلازما التقليدية غير المرغوب فيها وغير المرغوب فيها. للحد من هذا التأثير ، تم اقتراح إدخال خطوة من التنميش في البلازما الهيدروجينية ، والتي تسمح للشخص بالحفر الزائد للفوسفور قبل بداية خطوة ترسب الغاليوم وتحقيق نمط نمو ترسيب الطبقة الذرية.
مصدر: iopscience
لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت:http://www.semiconductorwafers.net،
أرسل لنا البريد الإلكتروني علىangel.ye@powerwaywafer.cأومأوpowerwaymaterial@gmail.com
معلومات الاتصال
luna@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com 
+86-592-5601 404
