رقاقة السيليكون على عازل (صوا) هو واحد من أكثر منصات جذابة للدارات المتكاملة البصرية مع القدرة على تحقيق التكامل عالية الأداء على نطاق واسع جدا (ulsi) وتصغير الجهاز. في هذا العمل ، استناداً إلى عمليات المحاكاة للحصول على خصائص بصرية مناسبة لميكروسيف السيليكون المسامي (psm) ، نجحنا في تصنيع رقاقة PSM عالية الكفاءة على رقاقة soi بواسطة الحفر الكهروكيميائي لكشف الحمض النووي عند طول الموجة الضوئية 1555.0 نانومتر. إن ذروة الرنين الضيقة بعرض كامل عند نصف أقصى بحد أقصى حوالي 26.0 نانومتر في طيف الانعكاس تعطي عامل q عالي يسبب حساسية عالية لأداء الاستشعار. يتم فحص حساسية هذا المستشعر من خلال تهجين dna زوجي القاعدة 19 في psm عن طريق تعديل السطح باستخدام طريقة كيميائية عبر وصلة قياسية. يظهر التحول الأحمر لأطياف الانعكاس علاقة خطية جيدة مع تركيز دنا مكمل ، يتراوح من 0.625 إلى 12.500 ميكرومتر ، وحدود الكشف 43.9 نانومتر. هذا PSM البصري في soi حساس للغاية ، سريع الاستجابة ، سهل التفكيك ومنخفض التكلفة ، يستفيد بشكل كبير من تطوير مستشعرات ضوئية جديدة خالية من العلامات البصرية على رقاقة soi ولديه إمكانات كبيرة للرقائق الحيوية القائمة على الأجهزة البصرية المتكاملة.

يسلط الضوء

b كان حساس استشعار حساس psm خالية حساسة التسمية على soi رقاقة عن طريق الحفر الكهروكيميائية. ► من خلال عمليات المحاكاة والتجارب ، قمنا بتحسين مستشعر psm الحيوي بقيمة q عالية وحساسية عالية. was تم استخدام هذا المستشعر الحيوي للكشف عن الحمض النووي ويظهر التحول الأحمر علاقة خطية جيدة مع الحمض النووي. ► يمكن أن يكون هذا PSM البصري على soi إمكانات كبيرة للورقات الحيوية القائمة على الأجهزة البصرية المتكاملة.

الكلمات الدالة

رقاقة السيليكون على عازل. microcavity مسامية السيليكون ؛ جهاز استشعار البيولوجي حساسية عالية

المصدر: موقع ScienceDirect

لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت: http://www.powerwaywafer.com / ، أرسل لنا البريد الإلكتروني على sales@powerwaywafer.com أو powerwaymaterial@gmail.com .