كربيد السيليكون أو منتجات قالب السيليكون. بام-شيامن تمكن 20-50٪ أقصر دورة دورة مرات وأعلى جودة الفوقي طبقات الجهاز، مع أفضل جودة الهيكلية والموصلية الحرارية أعلى، والتي يمكن أن تحسن الأجهزة في التكلفة، العائد، والأداء.
موك :
1غان (نيتريد الغاليوم) القوالب
تتكون منتجات قوالب بام-شيامن من طبقات بلورية من نيتريد الغاليوم (غان)، نيتريد الألومنيوم (ألن)، نيتريد الألومنيوم الغاليوم (ألغان)، نيتريد الغاليوم الإنديوم (إنغان)، والتي تودع على ركائز الياقوت. منتجات قالب بام-شيامن تمكن 20-50٪ أقصر دورة دورات إبتاكسي و أعلى جودة الفوقي طبقات الجهاز، مع أفضل جودة الهيكلية و أعلى الموصلية الحرارية، والتي يمكن تحسين الأجهزة في التكلفة، العائد، والأداء.
2 "غان القوالب تنضيد على ركائز الياقوت
بند |
حزب الأصالة والمعاصرة، 2inch و-غانت ن |
حزب الأصالة والمعاصرة، 2inch و-غانت، الاشتراكية |
|
التوصيل اكتب |
نوع ن |
شبه العازلة |
|
إشابة |
سي مخدر أو undoped |
في مخدر |
|
بحجم |
2 "(50MM) ديا. |
||
سماكة |
4um، 20um، 30um، 50um، 100um |
30um، 90um |
|
اتجاه |
ج محور (0001) +/- 1 س |
||
المقاومة (300K) |
العلامة u0026 lt؛ 0.05Ω · سم |
وGT، 1X10 6 Ω · سم |
|
انخلاع كثافة |
العلامة u0026 lt؛ 1X10 8 سم 2 |
||
المادة المتفاعلة بناء |
غان جرا الياقوت (0001) |
||
صقل الأسطح |
واحد أو مزدوج الجانب مصقول، إيبي جاهزة |
||
منطقة قابلة للاستخدام |
≥ 90٪ |
2 "غان القوالب تنضيد على ركائز الياقوت
بند |
حزب الأصالة والمعاصرة، غانت ف |
التوصيل اكتب |
نوع ف |
إشابة |
ملغ مخدر |
بحجم |
2 "(50MM) ديا. |
سماكة |
5um من، 20um، 30um، 50um، 100um |
اتجاه |
ج محور (0001) +/- 1 س |
المقاومة (300K) |
u0026 لوت؛ 1Ω · سم أو العادة |
إشابة تركيز |
1e17 (سم-3) أو العادة |
المادة المتفاعلة بناء |
غان جرا الياقوت (0001) |
صقل الأسطح |
واحد أو مزدوج الجانب مصقول، إيبي جاهزة |
منطقة قابلة للاستخدام |
≥ 90٪ |
3 "غان القوالب تنضيد على ركائز الياقوت
بند |
حزب الأصالة والمعاصرة، 3INCH-غانت ن |
|
التوصيل اكتب |
نوع ن |
|
إشابة |
سي مخدر أو undoped |
|
إقصاء منطقة: |
5mm من الخارج قطر الدائرة |
|
سماكة: |
20um، 30um |
|
انخلاع كثافة |
العلامة u0026 lt؛ 1X10 8 سم 2 |
|
ورقة المقاومة (300 كيلو): |
العلامة u0026 lt؛ 0.05Ω · سم |
|
المادة المتفاعلة: |
ياقوت أزرق |
|
اتجاه : |
ج-الطائرة |
|
ياقوت أزرق سماكة: |
430um |
|
تلميع: |
جانب واحد مصقول، إيبي جاهزة، مع الخطوات الذرية. |
|
مساعدات طلاء: |
(حسب الطلب) ارتفاع جودة التيتانيوم طلاء، سمك u0026 غ؛ 0.4 ميكرون |
|
التعبئة: |
بشكل فردي معبأة تحت فراغ الغلاف الأرجون مختومة في فئة 100 غرفة نظيفة. |
3 "غان القوالب تنضيد على ركائز الياقوت
بند |
حزب الأصالة والمعاصرة، 3INCH-غانت، الاشتراكية |
|
التوصيل اكتب |
شبه العازلة |
|
إشابة |
في مخدر |
|
إقصاء منطقة: |
5mm من الخارج قطر الدائرة |
|
سماكة: |
20um، 30um، 90um (20um هو الأفضل) |
|
انخلاع كثافة |
العلامة u0026 lt؛ 1X10 8 سم 2 |
|
ورقة المقاومة (300 كيلو): |
وGT (10)؛ 6 ohm.cm |
|
المادة المتفاعلة: |
ياقوت أزرق |
|
اتجاه : |
ج-الطائرة |
|
ياقوت أزرق سماكة: |
430um |
|
تلميع: |
جانب واحد مصقول، إيبي جاهزة، مع الخطوات الذرية. |
|
مساعدات طلاء: |
(حسب الطلب) ارتفاع جودة التيتانيوم طلاء، سمك u0026 غ؛ 0.4 ميكرون |
|
التعبئة: |
بشكل فردي معبأة تحت فراغ الغلاف الأرجون مختومة في فئة 100 غرفة نظيفة. |
4 "غان قوالب الفوقي على ركائز الياقوت
بند |
حزب الأصالة والمعاصرة، 4INCH-غانت ن |
التوصيل اكتب |
نوع ن |
إشابة |
undoped |
سماكة: |
4um |
انخلاع كثافة |
العلامة u0026 lt؛ 1x108cm-2 |
ورقة المقاومة (300 كيلو): |
العلامة u0026 lt؛ 0.05Ω · سم |
المادة المتفاعلة: |
ياقوت أزرق |
اتجاه : |
ج-الطائرة |
ياقوت أزرق سماكة: |
- |
تلميع: |
جانب واحد مصقول، إيبي جاهزة، مع الخطوات الذرية. |
التعبئة: |
بشكل فردي معبأة تحت فراغ الغلاف الأرجون مختومة في فئة 100 غرفة نظيفة. |
2 "ألغان، إنغان، ألن إبيتاكسي أون سابفير تمبلاتس: كوستوم
2 "ألين إبيتاكسي أون سابفير تمبلاتس
بند |
حزب الأصالة والمعاصرة، alnt، الاشتراكية |
|
التوصيل اكتب |
شبه العازلة |
|
قطر الدائرة |
Ф 50.8mm ± 1mm |
|
سماكة: |
1000nm +/- 10٪ |
|
المادة المتفاعلة: |
ياقوت أزرق |
|
اتجاه : |
ج محور (0001) +/- 1 س |
|
اتجاه مسطحة |
طائرة |
|
شرد فوم من (0002) |
العلامة u0026 lt؛ 200 arcsec. |
|
صالحة للاستعمال مساحة السطح |
≥90٪ |
|
تلميع: |
لا شيء |
2 "إنغان نبتة على القوالب الياقوت
بند |
حزب الأصالة والمعاصرة، ingan |
|
التوصيل اكتب |
- |
|
قطر الدائرة |
Ф 50.8mm ± 1mm |
|
سماكة: |
100-200nm، العادة |
|
المادة المتفاعلة: |
ياقوت أزرق |
|
اتجاه : |
ج محور (0001) +/- 1 س |
|
إشابة |
في |
|
انخلاع كثافة |
~ 10 8 سم 2 |
|
صالحة للاستعمال مساحة السطح |
≥90٪ |
|
صقل الأسطح |
واحد أو مزدوج الجانب مصقول، إيبي جاهزة |
2 "ألغان إبيتاكسي على القوالب الياقوت
بند |
حزب الأصالة والمعاصرة، alnt، الاشتراكية |
|
التوصيل اكتب |
شبه العازلة |
|
قطر الدائرة |
Ф 50.8mm ± 1mm |
|
سماكة: |
1000nm +/- 10٪ |
|
المادة المتفاعلة: |
ياقوت أزرق |
|
اتجاه : |
ج-الطائرة |
|
اتجاه مسطحة |
طائرة |
|
شرد فوم من (0002) |
العلامة u0026 lt؛ 200 arcsec. |
|
صالحة للاستعمال مساحة السطح |
≥90٪ |
|
تلميع: |
لا شيء |
2 "غان على 4H أو 6H الركيزة سيك
1) غان أونوبد العازلة أو ألن العازلة المتاحة؛ |
||||
2) ن من نوع (سي مخدر أو أوندوبد)، p- نوع أو شبه العازلة غان الفوقي طبقات المتاحة؛ |
||||
3) عمودي هياكل موصل على n- نوع سيك. |
||||
4) ألغان - 20-60nm سميكة، (20٪ -30٪ آل)، سي مخدر العازلة. |
||||
5) غان ن نوع طبقة على 330μm +/- 25um سميكة 2 "رقاقة. |
||||
6) واحد أو مزدوج الجانب مصقول، إيبي جاهزة، را u0026 لوت؛ 0.5um |
||||
7) نموذجي القيمة على شرد: |
||||
ويفر إد |
الركيزة إد |
حيود الأشعة السينية (102) |
حيود الأشعة السينية (002) |
سماكة |
# 2153 |
س 70105033 (مع ألن) |
298 |
167 |
679um |
2 "غان على الركيزة السيليكون
1) طبقة غان سمك: 50nm-4um. |
2) n نوع أو شبه-- العازلة غان متوفرة؛ |
3) واحد أو مزدوج الجانب مصقول، إيبي جاهزة، را u0026 لوت؛ 0.5um |
هيدريد مرحلة البخار النضج (هفب) العملية
نمت عملية هفب والتكنولوجيا لإنتاج أشباه الموصلات مجمع مثل غان، ألن، و ألغان. فهي تستخدم في تطبيقات واسعة: إضاءة الحالة الصلبة، الموجات الضوئية قصيرة الموجة و رف جهاز السلطة.
في عملية هفب، يتم تشكيل نيتريدات المجموعة الثالثة (مثل غان، ألن) عن طريق تفاعل كلوريدات المعادن الغازية الساخنة (مثل غاكل أو ألكل) مع غاز الأمونيا (nh3). يتم توليد كلوريدات المعادن عن طريق تمرير الغاز هكل الساخن على المجموعة الثالثة المعادن الساخنة. ويتم كل ردود الفعل في فرن الكوارتز التحكم في درجة الحرارة.