بام شيامن العروض الأقنعة
قناع الصورة هو طلاء رقيقة من المواد اخفاء بدعم من الركيزة سمكا، والمواد امتصاص يمتص الضوء بدرجات متفاوتة ويمكن أن تكون منقوشة مع تصميم مخصص. يتم استخدام نمط لتعديل الضوء ونقل نمط من خلال عملية الضوئية التي هي العملية الأساسية المستخدمة لبناء تقريبا كل من الأجهزة الرقمية اليوم.
قناع الصورة
بام شيامن العروض الأقنعة
ا قناع الصورة هو طلاء رقيقة من المواد اخفاء بدعم من الركيزة سمكا، والمواد اخفاء يمتص الضوء بدرجات متفاوتة ويمكن أن تكون منقوشة مع تصميم مخصص. يتم استخدام نمط لتعديل الضوء ونقل نمط من خلال عملية الضوئية التي هي العملية الأساسية المستخدمة لبناء تقريبا كل من الأجهزة الرقمية اليوم.
ما هو الضوئية
لوحة ضوئية هي لوحة مبهمة مع الثقوب أو الشفاف التي تسمح للضوء للتألق من خلال في نمط محدد. فهي تستخدم عادة في الحجرية. مطبوع حجريا الأقنعة عادة ما تكون شفافة الفراغات السيليكا تنصهر مغطاة نمط محدد مع الكروم فيلم امتصاص المعادن. الأقنعة وتستخدم في أطوال موجية من 365 نانومتر، 248 نانومتر، و 193 نانومتر. كما تم تطوير الضوئيات لأشكال أخرى من الإشعاع مثل 157 نانومتر، 13.5 نانومتر (يوف)، والأشعة السينية، والإلكترونات، والأيونات. ولكن هذه تتطلب مواد جديدة كليا للركيزة وفيلم نمط. يتم تغذية مجموعة من الضوئية، كل تحديد طبقة نمط في تصنيع الدوائر المتكاملة، في السائر ضوئي السائر أو الماسح الضوئي، ويتم اختيارها بشكل فردي للتعرض. في تقنيات الزخرفة مزدوجة، فإن الضوئية تتوافق مع مجموعة فرعية من نمط الطبقة. في ضوئيات لإنتاج كميات كبيرة من أجهزة الدوائر المتكاملة، المصطلح الصحيح هو عادة فوتوريتيكل أو شبكاني ببساطة. في حالة وجود ضوئية ضوئية، هناك تطابق واحد بين نمط القناع ونمط الرقاقة. وهذا هو المعيار ل 1: 1 أليغينرز قناع التي نجحت من قبل السائر والماسحات الضوئية مع تخفيض البصريات. كما تستخدم في السائر والماسحات الضوئية، وشبيكة عادة يحتوي على طبقة واحدة فقط من الشريحة. (ومع ذلك، بعض التصاميم فوتوليثوغرافي الاستفادة من ريتيكلس مع أكثر من طبقة واحدة منقوشة على نفس القناع). ويتوقع أن يتقلص المخطط بمقدار أربع أو خمس مرات على سطح الرقاقة. لتحقيق تغطية رقاقة كاملة، يتم مرارا وتكرارا الرقاقة "صعدت" من موقف إلى موقف تحت العمود البصري حتى يتحقق التعرض الكامل. يتميز 150 نانومتر أو أقل في الحجم عموما تتطلب مرحلة التحول إلى تحسين جودة الصورة إلى القيم المقبولة. وهذا يمكن أن يتحقق في نواح كثيرة. والطريقتين الأكثر شيوعا هي استخدام فيلم الخلفية المخففة مرحلة التحول على القناع لزيادة التباين من قمم شدة صغيرة، أو لحفر الكوارتز المكشوفة بحيث يمكن استخدام الحافة بين المناطق محفورا و ونيتشد لتصوير ما يقرب من الصفر الشدة. في الحالة الثانية، تحتاج الحواف غير المرغوب فيها إلى تقليمها مع التعرض الآخر. فإن الطريقة السابقة تكون موهوبة لتحويل الطور، وكثيرا ما تعتبر تعزيزا ضعيفا، مما يتطلب إضاءة خاصة لأقصى قدر من التعزيز، بينما تعرف الطريقة الأخيرة بالتناوب بين الفتحة في طور الطور، وهي أكثر التقنيات تعزيزا شعبية. كما ميزات أشباه الموصلات الرائدة يتقلص، ميزات الضوئية التي هي 4 × أكبر يجب أن يتقلص حتما كذلك. وهذا يمكن أن تشكل تحديات منذ فيلم امتصاص تحتاج إلى أن تصبح أرق، وبالتالي أقل مبهمة. وقد وجدت دراسة حديثة من قبل إيميك أن امتصاص أرق يقلل من تباين الصورة، وبالتالي المساهمة في خشونة خط حافة، وذلك باستخدام أحدث الأدوات الحجرية الضوئية. وإمكانية واحدة هي القضاء على الامتصاص تماما واستخدام أقنعة "كرومليس"، والاعتماد فقط على التحول مرحلة للتصوير. وظهور الطباعة الحجرية الغمر له تأثير قوي على متطلبات الضوئية. فإن قناع نقل المرحلة الموهن شائع الاستخدام هو أكثر حساسية لزوايا حدوث أعلى المطبقة في الطباعة الحجرية "هايبر-نا"، وذلك بسبب مسار بصري أطول من خلال الفيلم منقوشة.
قناع المواد -الفرق بين الكوارتز والصودا الجير الزجاج:
أكثر أنواع الزجاج شيوعا في تصنيع الأقنعة هي الكوارتز والجير الصودا. الكوارتز أكثر تكلفة، ولكن لديه ميزة معامل أقل بكثير من التمدد الحراري (وهو ما يعني أنه يوسع أقل إذا كان قناع يحصل دافئ أثناء الاستخدام) وشفافة أيضا في أعماق الأشعة فوق البنفسجية (دوف)، حيث الزجاج الصودا الجير هو مبهمة. يجب استخدام الكوارتز عندما يكون طول الموجة المستخدم لفضح القناع أقل من أو يساوي 365nm (i-لين). قناع التصوير الضوئي هو لوحة مبهمة أو فيلم مع مناطق شفافة تسمح للضوء بالتألق من خلال نمط محدد. فهي تستخدم عادة في العمليات الحجرية، ولكن تستخدم أيضا في العديد من التطبيقات الأخرى من قبل مجموعة واسعة من الصناعات والتقنيات. فإنه يوجد نوع مختلف من قناع لتطبيق مختلف وهي على أساس القرار المطلوب.
لمزيد من التفاصيل المنتج، يرجى الاتصال بنا على luna@powerwaywafer.com أو powerwaymaterial@gmail.com.
قناع رئيسي 1x
1x الأبعاد قناع الرئيسي والمواد الركيزة
المنتج |
أبعاد |
المادة المتفاعلة المواد |
1x سيد |
4 "x4" x0.060 " أو 0.090 " |
الكوارتز والصودا جير |
5 "x5" x0.090 " |
الكوارتز والصودا جير |
|
6 "x6" x0.120 " أو 0.250 " |
الكوارتز والصودا جير |
|
7 "x7" x0.120 " أو 0.150 " |
الكوارتز والصودا جير |
|
7.25 "جولة x 0.150 " |
كوارتز |
|
9 "x9" x0.120 "أو 0.190 " |
الكوارتز والصودا جير |
المواصفات المشتركة للأقنعة الرئيسية 1x (مادة الكوارتز)
حجم القرص المضغوط |
القرص المضغوط ، يعني لالاسمية |
سد التوحيد |
التسجيل |
حجم العيب |
2.0 أم |
≤0.25 أم |
≤0.25 أم |
≤0.25 أم |
≥2.0 أم |
4.0 أم |
≤0.30 أم |
≤0.30 أم |
≤0.30 أم |
≥3.5 أم |
مواصفات مشتركة للأقنعة الرئيسية 1x (مادة الجير الصودا)
حجم القرص المضغوط |
القرص المضغوط ، يعني لالاسمية |
سد التوحيد |
التسجيل |
حجم العيب |
≤4 أم |
≤0.25 أم |
---- |
≤0.25 أم |
≥3.0 أم |
u003e 4 أم |
≤0.30 أم |
---- |
≤0.45 أم |
≥5.0 أم |
قناع ut1x
ut1x قناع الأبعاد والمواد الركيزة
المنتج |
أبعاد |
المادة المتفاعلة مواد |
ut1x |
3 "x5" x0.090 " |
كوارتز |
5 "x5" x0.090 " |
كوارتز |
|
6 "x6" x0.120 "أو 0.250 " |
كوارتز |
مواصفات مشتركة لأقنعة ut1x
حجم القرص المضغوط |
القرص المضغوط ، يعني لالاسمية |
سد التوحيد |
التسجيل |
حجم العيب |
1.5 أم |
≤0.15 أم |
≤0.15 أم |
≤0.15 أم |
≥0.50 أم |
3.0 أم |
≤0.20 أم |
≤0.20 أم |
≤0.20 أم |
≥0.60 أم |
4.0 أم |
≤0.25 أم |
≤0.25 أم |
≤0.20 أم |
≥0.75 أم |
أقنعة ثنائية القياسية
القياسية أبعاد قناع ثنائي ومواد الركيزة
المنتج |
أبعاد |
المادة المتفاعلة المواد |
2X |
6 "x 6" x0.250 " |
كوارتز |
2.5x و |
||
4X |
||
5X |
5 "x5" x0.090 " |
كوارتز |
6 "x6" x0.250 " |
كوارتز |
مواصفات مشتركة للأقنعة الثنائية القياسية
حجم القرص المضغوط |
القرص المضغوط ، يعني لالاسمية |
سد التوحيد |
التسجيل |
حجم العيب |
2.0 أم |
≤0.10 أم |
≤0.15 أم |
≤0.10 أم |
≥0.50 أم |
3.0 أم |
≤0.15 أم |
≤0.15 أم |
≤0.15 أم |
≥0.75 أم |
4.0 أم |
≤0.20 أم |
≤0.20 أم |
≤0.20 أم |
≥1.00 أم |
أقنعة منطقة متوسطة
أبعاد قناع المنطقة المتوسطة والمواد
المنتج |
أبعاد |
المادة المتفاعلة المواد |
1X |
9 "x9" 0.120 " |
صودا الكوارتز الجير (كلا من الكروم وأكسيد الحديد امتصاص المتاحة) |
9 "x9" 0.190 " |
كوارتز |
مواصفات مشتركة لأقنعة المنطقة المتوسطة (مادة الكوارتز)
حجم القرص المضغوط |
القرص المضغوط ، يعني لالاسمية |
سد التوحيد |
التسجيل |
حجم العيب |
0.50 أم |
≤0.20 أم |
---- |
≤0.15 أم |
≥1.50 أم |
مواصفات مشتركة لأقنعة المنطقة المتوسطة (مادة الجير الصودا)
حجم القرص المضغوط |
القرص المضغوط ، يعني لالاسمية |
سد التوحيد |
التسجيل |
حجم العيب |
10 أم |
≤4.0 أم |
---- |
≤4.0 أم |
≥10 أم |
4 أم |
≤2.0 أم |
---- |
≤1.0 أم |
≥5 أم |
2.5 أم |
≤0.5 أم |
---- |
≤0.75 أم |
≥3 أم |