الصفحة الرئيسية / مدونة /

حماية السطوح كربيد السيليكون انتقائية مزروع ومزخرفة مع طبقة الجرافيت متوجا خلال الصلب بعد الزرع

مدونة

حماية السطوح كربيد السيليكون انتقائية مزروع ومزخرفة مع طبقة الجرافيت متوجا خلال الصلب بعد الزرع

2018-01-19

وقد تم تقييم طبقة الجرافيت متوجا لحماية سطح زرع الفوقي 4H-سيك منقوشة بشكل انتقائي خلال عملية ما بعد الزرع الصلب. تم نسج آز-5214e مقاومة للضوء و خبز في فراغ في درجات حرارة تتراوح بين 750 إلى 850 درجة مئوية لتشكيل طلاء مستمر على حد سواء مستو و ميسا محفورا سيك السطوح مع ميزات تصل إلى 2 ميكرون في الارتفاع. والتحويل الكامل للالمهدرجة فيلم البوليمر مثل في طبقة الجرافيت نانوكريستالين تم التحقق من قبل الطيفي رامان. بقي طبقة الجرافيت السد غير التالفة وحمايتها على حد سواء مستو و ميسا محفورا سيك السطوح خلال الصلب لاحق في الأرجون المحيطة في درجات حرارة تصل إلى 1650 درجة مئوية لمدة 30 دقيقة. فإنه فعال قمع الخطوة بونغينغ و دوبانت خارج الانتشار في المناطق المزروعة و في وقت واحد ضمان أن سطح غير مزروع من 4h-سيك الفوقي رقاقة ظل خالية من التلوث. شوتكي الثنائيات الحاجز شكلت على الامم المتحدة مزروع السطوح صلب عرض الخصائص المثالية تقريبا.


soource: iopscience


لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت: HTTP: // www.semiconductorwafers.net ،

ترسل لنا البريد الإلكتروني في angel.ye@powerwaywafer.com أو powerwaymaterial@gmail.com

اتصل بنا

إذا كنت ترغب اقتباس أو مزيد من المعلومات حول منتجاتنا، يرجى ترك لنا رسالة، وسوف الرد عليك في أقرب وقت ممكن.
   
إذا كنت ترغب اقتباس أو مزيد من المعلومات حول منتجاتنا، يرجى ترك لنا رسالة، وسوف الرد عليك في أقرب وقت ممكن.