يسلط الضوء
• تم دراسة آثار عرض الخطوة الذرية على إزالة الياقوت والويفر.
• يتم مناقشة سبب آثار عرض الخطوة على الإزالة والنموذج.
• نموذج اقتران cmp من رقاقة سداسية للحصول على سطح أملس ذري مقترحا.
• يتم تحليل الاختلافات مورفولوجية الخطوة الذرية تجاه العيوب.
• مناقشة آلية تشكيل العيوب.
absrtact
نحو صفير ويفر سيك ، يمكن ملاحظة مورفولوجيا الخطوة الذرية واضحة ومنتظمة في جميع أنحاء السطح عبر afm. ومع ذلك ، فإن اختلافات عرض الخطوات الذرية واتجاهات الخطوة تختلف على كامل سطوح الويفر المختلفة: التي على رقاقات الياقوت هي موحدة ، في حين أن على رقاقة sic متميزة. يتم دراسة آثار عرض الخطوة الذرية على معدل الإزالة. اقترح نموذج إزالة من رقاقة فائقة الصلابة لتحقيق سطح أملس جدا ذرة. يتم تحليل الاختلافات في مورفولوجيا الخطوة الذرية تجاه عيوب مختلفة على سطح الياقوت واليافز ، وتناقش آلية التشكيل.
الكلمات الدالة
تلميع ميكانيكي كيميائي (cmp)؛ الياقوت. كربيد السيليكون (كذا) ؛ خطوة ذرية
المصدر: موقع ScienceDirect
لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت: www.powerwaywafer.com ، أرسل لنا البريد الإلكتروني في sales@powerwaywafer.com .
معلومات الاتصال
luna@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com 
+86-592-5601 404
